Low/Variable Vacuum Scanning Electron Microscope

主要規格：
解析度：SEI：2.5 nm(30 kV), 15 nm(1kV)
BEI：4.0 nm
倍率：×5 to ×100,000
加速電壓：0.5kV to 30kV
探測電流：10-12~10-6A
低真空可變真空度：1 to 270 Pa
樣品最大容許：直徑150 mm × 高度10 mm
及時影像顯示：2560 × 1820 pixels
試片移動範圍：X 軸：80 mm Y 軸：40 mm Z 軸：5 to 48mm
旋轉：360∘ 傾斜角度：-10 to +90∘

EDS：
廠牌/型號：OXFORD/INCA 350
解析度 ≤ 133 eV
晶體偵測器 Si (Li)
元素偵測範圍 B5 ~ U92