以液相沉積氧化層為基礎之砷化鎵微波元件的晶片鍵合技術之研究(II)-子計畫一:利用LPD選擇性沉積薄層氧化層以製作砷化鎵MOSFET之研究

Project: Research project

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Effective start/end date01-08-0102-07-31