以HIPIMS鍍製氮化鈮鈦並探討改變氮氣流量以及添入不同乙炔流量對其機械、磨潤性質之影響及微鑽針上之應用

本計畫將於第一年使用高功率磁控脈衝濺鍍系統（HIPIMS）鍍製NbTiN鍍層，並透過改變氮氣流量控製鍍層組織與晶格變化，進而找出具最佳機械與磨潤性質之鍍層參數，同時也將比較本實驗室108年度科技部計畫執行結果中，以RF磁控濺鍍系統所鍍製之NbTiN鍍層，預計能完成比較RF濺鍍與HIPIMS濺鍍設備之鍍層結構，比較於機械與磨潤性質之優劣。第二年將繼續以此具最佳磨潤性質之鍍層參數為基準，添入不同流量之乙炔提供碳氫元素，並做基本性質與磨耗等試驗，觀察是否能改善其磨潤性質，最後選擇最佳機械與磨潤性質鍍層之設備與參數被覆於微鑽針上，進行高速鑽削測試，根據業界所需標準，設計各項分析，如孔壁直徑變化、孔壁表面粗糙度、釘頭尺寸、鑽孔準確度等等。添加乙炔為本實驗室較創新之作法，過去金屬氮化物鍍層鮮少加入碳與氫元素參考過去本實驗製備其他鍍層時發現添加乙炔之鍍層中，氫與碳元素能提升磨潤性質，並提升鍍層的磨耗壽命。本計畫預計可決定含鈮氮化物之最佳濺鍍設備、參數與結構，成果分享於工業生產端的應用。