使用放電產生電漿開發之極紫外光光源

此計畫將開發一個新式的極紫外光光源，用於極紫外光微影技術，在先進半導體製程中是非常關鍵的技術之一。此計畫所開發的極紫外光光源技術將具有比現在業界使用中的光源有更高的能量轉換效率的潛力，有機會取代現有技術，並讓臺灣在半導體製程機台上擁有領先的關鍵技術。