Abstract
本發明係一種二氧化鈦凝膠及其應用方法,該二氧化鈦凝膠至少包括有異丙氧鈦、乙醯丙酮、乙醇及水,且具有快乾之特點,在不需進行純化、烘乾和燒結的繁複步驟下,經過簡單的塗佈步驟後即可獲得二氧化鈦薄膜,並可應用於半導體中二氧化鈦薄膜之製造;該二氧化鈦凝膠的應用方法係利用二氧化碳雷射為熱能針對一塗佈有二氧化鈦凝膠的試片進行加熱,以產生具有寬吸收帶光學特性之二氧化鈦薄膜,本發明之方法提供一種低成本、快速、簡單且高品質的二氧化鈦薄膜製造方式,藉以達成光學與光電相關科技應用之目的。
Original language | Chinese (Traditional) |
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Patent number | I421215 |
Publication status | Published - 1800 |