以添加鋁之鐵矽催化劑製造準直性奈米碳管

Jyh-Ming Ting (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明係提供一種準直性奈米碳管之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一基板;(b)披覆一鋁薄膜於前述基板上做為中介層(interlayer);(c)披覆一鐵矽合金薄膜於前述鋁薄膜上;(d)將前述基板置於化學氣相沉積系統中;及(e)於前述化學氣相沉積系統中通入含碳氣體及平衡氣體,以反應生成奈米碳管。
Original languageChinese
Patent numberI352688
Publication statusPublished - 1800

Cite this

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author = "Jyh-Ming Ting",
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language = "Chinese",
type = "Patent",
note = "I352688",

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TY - PAT

T1 - 以添加鋁之鐵矽催化劑製造準直性奈米碳管

AU - Ting, Jyh-Ming

PY - 1800

Y1 - 1800

N2 - 本發明係提供一種準直性奈米碳管之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一基板;(b)披覆一鋁薄膜於前述基板上做為中介層(interlayer);(c)披覆一鐵矽合金薄膜於前述鋁薄膜上;(d)將前述基板置於化學氣相沉積系統中;及(e)於前述化學氣相沉積系統中通入含碳氣體及平衡氣體,以反應生成奈米碳管。

AB - 本發明係提供一種準直性奈米碳管之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一基板;(b)披覆一鋁薄膜於前述基板上做為中介層(interlayer);(c)披覆一鐵矽合金薄膜於前述鋁薄膜上;(d)將前述基板置於化學氣相沉積系統中;及(e)於前述化學氣相沉積系統中通入含碳氣體及平衡氣體,以反應生成奈米碳管。

M3 - Patent

M1 - I352688

ER -