在曲面上藉由壓印形成立體圖案之方法

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor), Kuan-Zong Fung (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明提供一種在曲面基材上進行立體壓印技術,壓印技術可以不受光源波長的限制去製作解析度小於100nm以下的線路圖案,是一種極具有潛力的微奈米元件製程技術。其中本發明先以光微影蝕刻的方式在矽晶圓上製作出立體圖案,並利用圖案轉移技術將矽晶圓上的立體圖案複製在具有與彎曲基材相同曲率之複合式壓印模具上;並利用微(奈)米壓印技術成功的在彎曲基材上製作出立體圖案,藉此簡化於曲面上之立體圖案製作的程序,達到降低製造成本與提高生產效率。
Original languageChinese
Patent numberI322331
Publication statusPublished - 1800

Cite this

Hong, F. C-N., & Fung, K-Z. (1800). 在曲面上藉由壓印形成立體圖案之方法. (Patent No. I322331).