壓印製程

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種壓印(Imprinting)製程,至少包括提供一壓印模板,其中此壓印模板之一表面具有一圖案;形成一熱穩定高分子聚合物層覆蓋於上述壓印模板之表面上,其中此熱穩定高分子聚合物層填平壓印模板之圖案,而使熱穩定高分子聚合物層之表面上具有相對於圖案之互補圖案;形成一光阻層覆蓋於熱穩定高分子聚合物層上;形成一透明基材覆蓋在光阻層上;進行一照射步驟,藉以使光阻層產生聚合;移除壓印模板;以及進行一圖案化步驟,藉以將熱穩定高分子聚合物層上之互補圖案轉移至透明基材上。
Original languageChinese (Traditional)
Patent numberI263870
Publication statusPublished - 1800

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