晶片式微型噴嘴及其製造方法

本發明提供一種晶片式微型噴嘴，主要將微型噴嘴部一體成型於具有微管道的高分子聚合物材料的晶片上，前述整合微管道之晶片式微型噴嘴應用於一般液相質譜儀，可產生微電灑離子化液滴以增加質譜訊號的穩定度，且迅速、精確地分析樣品。本發明進一步提供一種晶片式微型噴嘴之製造方法，主要係在晶片上之微管道出口處，利用雷射(如：準分子雷射)微細加工製成微小的噴嘴部，使晶片與噴嘴部以一體成型之方式構成晶片式微型噴嘴。本發明係可應用於生物、化學、醫學等領域的質譜檢測分析。