氫氣感測器及其製造方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明係關於一種氫氣感測器及其製造方法,該氫氣感測器包括一半導體基底、一半導體緩衝層、一半導體主動層、一半導體蕭特基接觸層、一半導體帽層、一歐姆金屬接觸電極層、做為汲極與源極電極及做為閘極電極之蕭特基金屬接觸電極層以形成一金屬-半導體三端式電晶體結構之氫氣感測器;本發明提供之氫氣感測器製造方法係將無電鍍技術融合於一般半導體製程中,該蕭特基金屬接觸電極層
Original languageChinese (Traditional)
Patent numberI351761
Publication statusPublished - 1800

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