用來成型圖案的加熱壓印方法

一種用來成型圖案的加熱壓印方法，包含：(1)製備一基板以及一模板，其中該模板及基板中的至少一塊是電阻值介於0.1Ω~50kΩ的含矽材料所製成。(2)將一待壓印物設置於基板上。(3)對由含矽材料製成之基板或模板通以電流加熱，使其溫度達到使待壓印物具流動性或可成型之範圍。(4)將基板及模板壓合，並在待壓印物上壓印出圖案。藉由對含矽材料製成之基板或模板加熱，使該加熱壓印方法具有快速升溫及降溫、減少加熱時間，以及降低壓印成本的優點。