異質結構場效電晶體

Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種異質結構場效電晶體,包含概略由下而上依序疊接的一基板、一第一緩衝層、一第二緩衝層、一第一通道結構、一隔離層、一第二通道結構、一蕭特基接觸層。該第一、第二通道結構皆具有一單原子摻雜載子供應層,這可以減少電晶體所具有的高撞擊游離效應。蕭特基接觸層及第二緩衝層是利用大能隙之材料所製成,可分別提供元件良好之蕭特基特性及抑制從基板漏失之基板漏電流,使元件具有良好的夾止特性,並可有效的將載子侷限在第一、第二通道結構內,以降低順向偏壓操作時的漏電流及增加順向偏壓操作的能力。
Original languageChinese (Traditional)
Patent number202534
Publication statusPublished - 1800

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