Abstract
本發明涉及一種自動虛擬計量(Automatic Virtual Metrology；AVM)的系統與方法。 AVM系統包含有一建模服務器及多個AVM服務器。建模服務器用於建構某類型的工藝裝置(機台)的首套虛擬計量模型，該組虛擬計量模型包含：虛擬計量推測模型、RI(Reliance Index；信心指針)模型、GSI(GlobalSimilarity Index；整體相似度指針)模型、DQIX(Process Data Quality Index；工藝數據質量指針)模型、DQIy(Metrology Data Quality Index；計量數據質量指針)模型。在AVM方法中，建模服務器也可將此類型工藝裝置的首套虛擬計量模型移植至其它同型工藝裝置的AVM服務器中，接受移植的每一AVM服務器並可以自動換模(Refresh)方式恢復並維持其虛擬計量模型應有的精度。
| Original language | Chinese (Traditional) |
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| Patent number | CN101598754B |
| Publication status | Published - 2009 Dec 9 |