薄膜電晶體之製備方法及頂閘極式薄膜電晶體

本?明公?了一种薄膜晶体管的制?方法及??极式薄膜晶体管，本?明的薄膜晶体管的制?方法包括步?：(A)提供一基板；(B)于?基板表面形成一源极?极、一漏极?极、以及一?壁?米碳管?，?源极?极与?漏极?极相隔一距离配置，且??壁?米碳管?配置于?源极?极与?漏极?极之?；(C)于??壁?米碳管?的表面形成一?极氧化?；(D)以氧气或氮气回火?理??极氧化?的表面；以及(E)形成一?极于??极氧化?的表面；其中，?步?(D)中，以氧气或氮气回火?理??极氧化?的?度?500℃至600℃。