製作具微結構壓印模具之方法

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor), Kuan-Zong Fung (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種製作具微結構壓印模具之方法,係於一基板之一面上塗佈有光阻層;利用一光源配合具有所需模具圖形之光罩於光阻層上進行曝光及顯影,使光阻層於基板上形成與模具圖形相反之光阻圖案層;再於光阻圖案層及基板上電鍍沉積一導電薄膜層;之後於導電薄膜層上進行電鑄,使該導電薄膜層上形成有所需厚度之電鑄層;最後以化學溶液浸泡將殘留之光阻圖案層移除,使該電鑄層與基材剝離,藉以使電鑄層形成一具微結構之金屬模具。藉此,可達到降低製程設備之成本、製程簡單、製程時間短、及晶種層被覆性較佳之功效。
Original languageChinese (Traditional)
Patent numberI447781
Publication statusPublished - 1800

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