金屬-絕緣體-半導體電晶體式氫氣感測器及其製造方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種金屬-絕緣層-半導體(Metal-Insulator-Semiconductor;MIS)電晶體式氫氣感測器,係在例如砷化鎵(GaAs)半導體膜上形成例如金-鍺-鎳(AuGe/Ni)合金所構成之汲極電極與源極電極,並形成一薄氧化層於汲極電極與源極電極間之主動層上,再蒸鍍例如鈀(Pd)或鉑(Pt)金屬於氧化層上,以作為閘極電極。其中,由於鈀或鉑金屬對氫氣具有良好的觸媒活性,因此當氫氣分子吸附於鈀或鉑金屬表面時會被解離為氫原子,再藉由鈀或鉑金屬與氧化層介面可吸附大量氫原子的能力,而可得到明顯電晶體電性的變
Original languageChinese
Patent number168676
Publication statusPublished - 1800

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