Abstract
一種電晶體元件及其製造方法,該元件包括:一半導體基板、一汲極、一源極、一閘極金屬晶種層,係形成於該半導體基板之上,其具有一凝膠狀物質層及複數金屬晶種及一蕭特基接觸金屬閘極,係形成於該閘極金屬晶種層之上。該方法包括:步驟A:提供一半導體基板;步驟B:形成一汲極及一源極於該半導體基板之上;步驟C:定義出一閘極金屬晶種層在該半導體基板上之區域
Original language | Chinese (Traditional) |
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Patent number | I429090 |
Publication status | Published - 1800 |