高功率雷射束之位置感測系統

Translated title of the contribution: 高功率雷射束之位置感測系統

Shang-Liang Chen (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明提出新的、有效而實用的高功率雷射束的線上位置感測系統。此技術應用於高功率雷射加工時,對其加工品質之良莠具關鍵性地位。
本系統使用一分光鏡反射一小部份之雷射束能量,進入一旋轉狹縫雷射位置感測裝置,以達成高功率雷射束位置感測之目的。本系統重要之元件包括:分光鏡(beam splitter),旋轉狹縫(rotating slit),聚焦鏡(focusing lens),及光感測器與放大器(photosensor,Amp.),數據擷取卡(data acquisition),及個人電腦(PC-586)。感測的信號與雷射束功率,雷射束半徑,雷射束位置,及旋轉狹縫之縫寬有關。本系統可在2秒內預測高功率雷射束之能量中心,如雷射束之半徑已知,本系統可精確的預測高功率雷射束之絕對位置,同時將感測到的能量信號加以積分,可精確計算出雷射束的功率。
Translated title of the contribution高功率雷射束之位置感測系統
Original languageChinese
Patent number106834
IPCB23K-026/02
Priority date16-04-01
Filing date96-04-02
Publication statusPublished - 1999 Aug 1

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