3-D MICRO/NANO STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Yung-Chun Lee (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種三維形狀微奈米結構之製造方法係應用於一基板,第二蝕刻材料層位於基板與第一蝕刻材料層之間。製造方法包含一轉印步驟,藉由一模仁將一轉印材料層轉印至基板之第一蝕刻材料層;一第一蝕刻步驟,係以基板上之轉印材料層作為遮罩,對第一蝕刻材料層及第二蝕刻材料層進行蝕刻;以及一第二蝕刻步驟,對第一蝕刻材料層及第二蝕刻材料層進行蝕刻
Translated title of the contribution三維形狀微奈米結構及其製造方法
Original languageEnglish
Patent numberI413177
Publication statusPublished - 1800

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