An innovative micro-fabrication for electroosmotic flow (EOF) control via a self-assembled monolayer by using a perpendicular electric potential

本發明係有關於一種可電壓控制式之自組性薄膜誘發場效電場控制電滲流之微晶片製法，該微晶片係由底板及頂板對應結合而成；該底板係於基板中間具設閘極電極，閘極電極表面形成一極薄之自組性薄膜以作為絕緣層；頂板底側凹具一比閘極電極略窄小的微泳道，微泳道內可供填充緩衝溶液；使用時，係於微泳道兩端加給高壓電源正負端以作為產生電滲流的電場，並對閘極電極加給誘發電壓以使絕緣膜產生電極化效應，進而控制電滲流之方向與速度；由於上述絕緣層係以自組性薄膜(SAM)構成，故可達到製作容易、厚度薄，並可降低誘發電壓、縮小體積，且無論微泳道的溶液為酸性或中性皆可任意控制電滲流方向及流速等功效。