AN UNDERWATER ACOUSTIC MICRO-SENSOR

Ru-Min Chao (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明揭示一種配合微機電製程技術所製作出之水下聲響微感測器,包含:一組壓阻、一防水薄膜、一絕緣材料、一感測薄膜,以及一組導線電路。於該薄膜的感測面鋪上適當的壓阻材料;採用金導線連接四個壓阻形成惠斯敦電橋電路,其中兩個位於薄膜上方壓阻為感測端壓阻,因薄膜結構變形而產生阻值改變;並以背後蝕刻方式蝕刻出適當厚度之懸浮薄膜結構;最後塗佈一聚對二甲苯基之防水層。本發明係利用該感測薄膜結構之自然振頻特性,於接受接近結構自然振頻的特定頻率範圍的聲波時,該感測器輸出訊號會產生較高的訊雜比,藉此接收水下聲波所傳遞之訊號內容。
Translated title of the contribution水下聲響微感測器
Original languageEnglish
Patent numberI293112
Publication statusPublished - 1800

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