Apparatus for producing aluminum nitride

Shyan-Lung Chung (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本創作是在提供一種適用於燃燒合成法合成氮化鋁之反應裝置,該反應裝置可分為直立式與水平式,該兩型式皆包含一圓柱形反應爐體、一設置於該爐體且可控制該爐體內溫度及壓力並供給氮氣之控制單元、一可封閉該爐體之腔門、一連接於該腔門並可帶動其相對於該爐體於一密合與一非密合位置間直線位移之驅動機構,及一可回收該反應爐體內之氣體再重新充入該反應爐體內的氮氣回收單元。其中該直立式反應裝置之該腔門更具有承載一反應物之功能,而該水平式反應裝置則更包含一垂直固設於該腔門且可承置該反應物之載物平台。經由該腔門與該驅動機構之配合,本創作之反應裝置適用於連續操作與高效率之自動化生產操作。
Translated title of the contribution合成氮化鋁之反應裝置
Original languageEnglish
Patent number227316
Publication statusPublished - 1800

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