CONDUCTIVE PROBE AND INSULATING TRENCHES MANUFACTURING METHOD THEREOF

Hao-Chih Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明揭露一種導電探針及其絕緣溝槽製造方法。導電探針係應用於原子力顯微術,並包括一基座、複數支持元件、複數探針頭以及一導電層。基座具有一表面及複數突起部,該等突起部間隔配置於表面上,兩相鄰突起部之間具有一絕緣溝槽。該等支持元件設置於基座,並突出於基座。該等探針頭對應設置於該等支持元件遠離基座之一端。導電層覆蓋基座之表面、該等突起部、該等支持元件及該等探針頭,兩相鄰支持元件上之導電層係藉由至少一絕緣溝槽而彼此電性隔離。
Translated title of the contribution導電探針及其絕緣溝槽製造方法
Original languageEnglish
Patent numberI518331
Publication statusPublished - 1800

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