HYDROGEN SENSOR AND APPLICATIONS THEROF

Huey-Ing Chen (Inventor), Wei-Chou Hsu (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種氫氣感測器(Hydrogen Sensor)及其製造方法,此氫氣感測器包括:基底、半導體緩衝層、半導體主動層、歐姆接觸(Ohmic Contact)金屬層以及蕭特基接觸(Schottky Contact)金屬蒸鍍層。半導體緩衝層位於基底上。半導體主動層位於半導體緩衝層上。歐姆接觸(Ohmic Contact)金屬層位於一部分之半導體主動層上。蕭特基接觸金屬蒸鍍層位於一部分之半導體主動層上,且與歐姆接觸金屬層相距有一距離,其中蕭特基接觸金屬蒸鍍層的厚度實質介於10 至5000 之間。
Original languageEnglish
Patent numberI311199
Publication statusPublished - 1800

Cite this

Chen, H-I., Hsu, W-C., & Liu, W-C. (1800). HYDROGEN SENSOR AND APPLICATIONS THEROF. (Patent No. I311199).