Hydrogen Sensor and Fabrication Method Thereof

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種氫氣感測器及其製造方法。此氫氣感測器的製造方法包含如下步驟:形成半導體緩衝層於基底上;形成半導體主動層於半導體緩衝層上;對半導體主動層的表面進行電漿處理;以及形成第一金屬層和第二金屬層於半導體主動層,其中第一金屬層和第二金屬層之間具有一距離。
Original languageEnglish
Patent numberI443332
Publication statusPublished - 1800

Cite this

Chen, H-I., & Liu, W-C. (1800). Hydrogen Sensor and Fabrication Method Thereof. (Patent No. I443332).