Abstract
一種氫氣感測器及其製造方法，係利用奈米金屬微粒層作為閘極之蕭特基二極體元件。製造時，係利用電泳沈積(Electrophoretic Deposition；EPD)技術並結合半導體微製造程序，於半導體基材上沈積成金屬奈米微粒層閘極，以形成奈米金屬-半導體(Metal-semiconductor；MS)之蕭特基接觸(Schottky Contact)，作為氫氣感測器。在元件結構方面，由於奈米金屬微粒觸媒活性高、比表面積大，作為氫氣偵檢辨識元可具備高靈敏度、高偵檢範圍及高應答速率等優點。在覆膜技術方面，電泳沈積法設備簡單、操作方便，具有量產製造之優點。
| Translated title of the contribution | 氫氣感測器及其製造方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I274152 |
| Publication status | Published - 1800 |