HYDROGEN SENSOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種氫氣感測器及其製造方法,係利用奈米金屬微粒層作為閘極之蕭特基二極體元件。製造時,係利用電泳沈積(Electrophoretic Deposition;EPD)技術並結合半導體微製造程序,於半導體基材上沈積成金屬奈米微粒層閘極,以形成奈米金屬-半導體(Metal-semiconductor;MS)之蕭特基接觸(Schottky Contact),作為氫氣感測器。在元件結構方面,由於奈米金屬微粒觸媒活性高、比表面積大,作為氫氣偵檢辨識元可具備高靈敏度、高偵檢範圍及高應答速率等優點。在覆膜技術方面,電泳沈積法設備簡單、操作方便,具有量產製造之優點。
Original languageEnglish
Patent numberI274152
Publication statusPublished - 1800

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