Imprinting process method

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor), Sheng-Yuan Chu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種壓印製程方法。在此方法中,首先,提供一硬質基板,其中硬質基板係至少包含第一表面以及相對於第一表面之第二表面。接著,提供一緩衝層,其中緩衝層係設置於第二表面上。然後,形成一高分子材料層於第一表面上。之後,執行一壓印步驟,以形成一壓印圖案於高分子材料層上。接著,形成一金屬層於第一表面上。之後,移除高分子材料層。
Original languageEnglish
Patent numberI329791
Publication statusPublished - 1800

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Hong, F. C-N., & Chu, S-Y. (1800). Imprinting process method. (Patent No. I329791).