Abstract
一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上，例如：物件請求仲介者(Object Request Broker)，並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control；SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含：第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run；R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。
| Translated title of the contribution | 具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I412906 |
| Publication status | Published - 1800 |