Manufacturing execution system with virtual-metrology capabilities and manufacturing system

Fan-Tien Cheng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上,例如:物件請求仲介者(Object Request Broker),並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control;SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含:第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run;R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。
Original languageEnglish
Patent number1464514
Publication statusPublished - 2011 Nov 23

Cite this

@misc{792749c4207249b0bdcd78518267f717,
title = "Manufacturing execution system with virtual-metrology capabilities and manufacturing system",
abstract = "一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上,例如:物件請求仲介者(Object Request Broker),並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control;SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含:第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run;R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。",
author = "Fan-Tien Cheng",
year = "2011",
month = "11",
day = "23",
language = "English",
type = "Patent",
note = "1464514",

}

TY - PAT

T1 - Manufacturing execution system with virtual-metrology capabilities and manufacturing system

AU - Cheng, Fan-Tien

PY - 2011/11/23

Y1 - 2011/11/23

N2 - 一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上,例如:物件請求仲介者(Object Request Broker),並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control;SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含:第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run;R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。

AB - 一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上,例如:物件請求仲介者(Object Request Broker),並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control;SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含:第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run;R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。

M3 - Patent

M1 - 1464514

ER -