Manufacturing execution system with virtual-metrology capabilities and manufacturing system

Fan-Tien Cheng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統。此製造執行系統係建立在一中介軟體(Middleware)架構上,例如:物件請求仲介者(Object Request Broker),並包含有機台監控器(Equipment Manager)、虛擬量測系統、統計製程管制系統(Statistical Process Control;SPC)、警報管理器和排程器(Scheduler)等。此製造系統包含:第一製程機台、第二製程機台、量測機台、前述之製造執行系統、第一批次至批次(Run-to-Run;R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。
Translated title of the contribution具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統
Original languageEnglish
Patent number1464514
Publication statusPublished - 2011 Nov 23

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