Abstract
一種應用雷射拖拉法之光罩的製造方法包含：一移動決定步驟，係決定一機台使一基板相對至少一光罩移動之方向及次數；一微結構決定步驟，係決定一立體微結構於該基板上之外貌特徵；一分析步驟，係依據該方向、次數以及該外貌特徵，使用一數值分析方法計算得到該光罩之特徵；以及一生產步驟，係依據該光罩之特徵製造出該光罩。藉由本發明之光罩的製造方法所製造的光罩，可加工出所期望的立體微結構。
| Translated title of the contribution | 應用雷射拖拉法之光罩與立體微結構的製造方法與立體微結構 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I428689 |
| Publication status | Published - 1800 |