MARKING CO2 LASER-TRANSPARENT MATERIALS BY USING ABSORPTION-MATERIAL-ASSISTED LASER PROCESSING

Chen-Kuei Chung (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明係關於一種表面上具有標記之矽材料及其形成方法。該方法包括以下步驟:(a)提供一矽材料;(b)提供一玻璃基板;(c)設置該矽材料於該玻璃基板之上;及(d)將一二氧化碳雷射打在該矽材料上,以形成一標記於該矽材料之下表面,該標記之材質係為氧化矽。藉此,可以利用便宜之二氧化碳雷射於該矽材料上形成標記,且該標記可以利用適當化學藥品去除而再利用該矽材料。
Translated title of the contribution表面上具有標記之矽材料及其形成方法
Original languageEnglish
Patent number8557715
Publication statusPublished - 1800

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