Abstract
本發明係關於一種表面上具有標記之矽材料及其形成方法。該方法包括以下步驟：(a)提供一矽材料；(b)提供一玻璃基板；(c)設置該矽材料於該玻璃基板之上；及(d)將一二氧化碳雷射打在該矽材料上，以形成一標記於該矽材料之下表面，該標記之材質係為氧化矽。藉此，可以利用便宜之二氧化碳雷射於該矽材料上形成標記，且該標記可以利用適當化學藥品去除而再利用該矽材料。
| Translated title of the contribution | 表面上具有標記之矽材料及其形成方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | 8557715 |
| Publication status | Published - 1800 |