Abstract
一種金屬嵌入光罩之製造方法包含：將至少一金屬材料形成於一基板上，基板具有複數凸部突出於基板之一表面，各凸部具有複數側面及一頂面，該等側面連接頂面與表面，金屬材料形成於頂面及表面；貼附一軟性膜材於基板之頂面；以及使軟性膜材自頂面脫離而將位於頂面之金屬材料部分移除。本發明之金屬嵌入光罩之製造方法製程簡易且大幅降低成本，並且本發明之金屬嵌入光罩之金屬材料不會形成在凸部的頂面，因而避免金屬材料所形成之金屬層與另一基板摩擦，而能延長光罩之使用壽命。
| Translated title of the contribution | 金屬嵌入光罩及其製造方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I450029 |
| Publication status | Published - 1800 |