Abstract
本發明係有關於一種無縫式壓印滾輪模仁製作方法與設備,其係將具有一定真圓度與真直度之圓形工作件塗佈上光阻後,夾持於轉動載台上,搭配紫外線曝光系統將光罩上之任意圖形,以曝光的方式複製於圓形工作件表面的光阻上,經顯影後,裸露出受曝光的部份底部金屬,蝕刻或電鑄後,得到無接縫壓印滾輪;另外,轉動載台可將任意複雜圖形,準確的接壤並曝光於光阻上,達到無接縫且多樣化圖形的優點;續,此方法中所使用的紫外光,經由光學鏡組設計折射後,產生出的光線具有高準直度,因此,圖形線寬可輕易的壓低到5微米,大幅提升應用功效。
| Translated title of the contribution | 無縫式壓印滾輪模仁製作方法與設備 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I402174 |
| Publication status | Published - 1800 |
UN SDGs
This output contributes to the following UN Sustainable Development Goals (SDGs)
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SDG 9 Industry, Innovation, and Infrastructure
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