Abstract
一種虛擬量測系統之信心度的評估方法。此方法係藉由分析生產機台的製程參數資料,來計算出信心指標?(Reliance Index;RI)和信心指標門檻?(RI Threshold;RIT),以判斷虛擬量測系統的預測結果是否可被信賴。此外,此方法亦計算出製程參數相似度指標?(Process Data Similarity Index;SI),藉以定義出目前輸入之製程參數資料與用來訓練建模用之所有參數資料的相似程度,來輔助信心指標之判斷。
| Translated title of the contribution | 生產製程之虛擬量測系統之信心度的評估方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I315054 |
| Publication status | Published - 1800 |