Method for Making an Aligned Carbon Nanotube

Jyh-Ming Ting (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種低溫快速製造準直性奈米碳管之方法,可在低於380℃環境下快速製造高分布密度與高準直性之奈米碳管。該方法包含:(A)在一基板頂面被覆一鐵矽合金薄膜作為成長奈米碳管所需之催化劑。(B)蝕刻該鐵矽合金薄膜,而於該基板頂面形成適當密度分布之複數細微鐵矽合金顆粒。及(C)在低於380℃微波電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入預定流量及適當比例之含碳反應氣體與平衡氣體,在適當的工作壓力下,於該等鐵矽合金顆粒上成長垂直於該基板頂面的奈米碳管,微波功率為250~1500W,工作壓力為20~40Torr。
Translated title of the contribution低溫快速製造準直性奈米碳管之方法
Original languageEnglish
Patent numberI240312
Publication statusPublished - 1800

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