Method for Making an Aligned Carbon Nanotube

Jyh-Ming Ting (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種低溫快速製造準直性奈米碳管之方法,可在低於380℃環境下快速製造高分布密度與高準直性之奈米碳管。該方法包含:(A)在一基板頂面被覆一鐵矽合金薄膜作為成長奈米碳管所需之催化劑。(B)蝕刻該鐵矽合金薄膜,而於該基板頂面形成適當密度分布之複數細微鐵矽合金顆粒。及(C)在低於380℃微波電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入預定流量及適當比例之含碳反應氣體與平衡氣體,在適當的工作壓力下
Original languageEnglish
Patent number8080289
Publication statusPublished - 2009 Feb 12

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title = "Method for Making an Aligned Carbon Nanotube",
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author = "Jyh-Ming Ting",
year = "2009",
month = "2",
day = "12",
language = "English",
type = "Patent",
note = "8080289",

}

Method for Making an Aligned Carbon Nanotube. / Ting, Jyh-Ming (Inventor).

Patent No.: 8080289.

Research output: Patent

TY - PAT

T1 - Method for Making an Aligned Carbon Nanotube

AU - Ting, Jyh-Ming

PY - 2009/2/12

Y1 - 2009/2/12

N2 - 一種低溫快速製造準直性奈米碳管之方法,可在低於380℃環境下快速製造高分布密度與高準直性之奈米碳管。該方法包含:(A)在一基板頂面被覆一鐵矽合金薄膜作為成長奈米碳管所需之催化劑。(B)蝕刻該鐵矽合金薄膜,而於該基板頂面形成適當密度分布之複數細微鐵矽合金顆粒。及(C)在低於380℃微波電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入預定流量及適當比例之含碳反應氣體與平衡氣體,在適當的工作壓力下

AB - 一種低溫快速製造準直性奈米碳管之方法,可在低於380℃環境下快速製造高分布密度與高準直性之奈米碳管。該方法包含:(A)在一基板頂面被覆一鐵矽合金薄膜作為成長奈米碳管所需之催化劑。(B)蝕刻該鐵矽合金薄膜,而於該基板頂面形成適當密度分布之複數細微鐵矽合金顆粒。及(C)在低於380℃微波電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入預定流量及適當比例之含碳反應氣體與平衡氣體,在適當的工作壓力下

M3 - Patent

M1 - 8080289

ER -

Ting J-M, inventor. Method for Making an Aligned Carbon Nanotube. 8080289. 2009 Feb 12.