METHOD FOR MANUFACTURING MICRO-NANO IMPRINTING MOULD AND IMPRINTING PROCESS

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種微奈米壓印模具之製造方法及壓印製程。此微奈米壓印模具之製造方法至少包括:提供一模具主體,模具主體具有相對之第一表面以及第二表面,其中模具主體包括一壓印圖案結構設於第一表面,且壓印圖案結構包括複數個凹穴與複數個凸面介於凹穴之間;以及對模具主體之第一表面進行一表面處理步驟,以使凹穴與一壓印流體之間具有第一接觸角,以及使凸面與壓印流體之間具有第二接觸角,其中第一接觸角與第二接觸角不同。
Translated title of the contribution微奈米壓印模具之製造方法及壓印製程
Original languageEnglish
Patent numberI365850
Publication statusPublished - 1800

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