Abstract
本發明係有關於一種奈米線之製作方法,係包括下列步驟:(A) 提供一基板;(B) 形成一晶種層於基板上,且晶種層具有一第一側壁;(C) 形成一電極層於晶種層上,其中電極層係具有一第二側壁且完全覆蓋晶種層;(D) 將基板置於一第一成長溶液中,並於靜置下形成複數奈米線,且奈米線係延伸自晶種層之第一側壁;以及(E) 將基板置於一第二成長溶液中,並於擾動下繼續成長奈米線,以於奈米線之端部形成複數針尖。
Translated title of the contribution | 尖端具有微結構之奈米線之製作方法 |
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Original language | English |
Patent number | I448418 |
Publication status | Published - 1800 |