Method for manufacturing oxide thin film

Jow-Lay Huang; Jen-Sue Chen; Jih-Jen Wu

Method for manufacturing oxide thin film

Jow-Lay Huang (Inventor), Jen-Sue Chen (Inventor), Jih-Jen Wu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本?明的制造氧化物薄膜的方法，包括下列步?：制?涂料，?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?；涂布?涂料于基材上；以及??基材上的涂料施予退火步?，使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施，所以不需搭配昂?的机台??，使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。

Translated title of the contribution	製造氧化物薄膜的方式
Original language	English
Patent number	ZL201110103211.4
Publication status	Published - 2011 Nov 2

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@misc{4d32f72e1bd241b991be2b917c602053,

title = "Method for manufacturing oxide thin film",

abstract = "本?明的制造氧化物薄膜的方法，包括下列步?：制?涂料，?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?；涂布?涂料于基材上；以及??基材上的涂料施予退火步?，使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施，所以不需搭配昂?的机台??，使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。",

author = "Jow-Lay Huang and Jen-Sue Chen and Jih-Jen Wu",

year = "2011",

month = nov,

day = "2",

language = "English",

type = "Patent",

note = "ZL201110103211.4",

}

TY - PAT

T1 - Method for manufacturing oxide thin film

AU - Huang, Jow-Lay

AU - Chen, Jen-Sue

AU - Wu, Jih-Jen

PY - 2011/11/2

Y1 - 2011/11/2

N2 - 本?明的制造氧化物薄膜的方法，包括下列步?：制?涂料，?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?；涂布?涂料于基材上；以及??基材上的涂料施予退火步?，使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施，所以不需搭配昂?的机台??，使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。

AB - 本?明的制造氧化物薄膜的方法，包括下列步?：制?涂料，?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?；涂布?涂料于基材上；以及??基材上的涂料施予退火步?，使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施，所以不需搭配昂?的机台??，使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。

M3 - Patent

M1 - ZL201110103211.4

ER -