Method for manufacturing oxide thin film

Jow-Lay Huang (Inventor), Jen-Sue Chen (Inventor), Jih-Jen Wu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本?明的制造氧化物薄膜的方法,包括下列步?:制?涂料,?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?;涂布?涂料于基材上;以及??基材上的涂料施予退火步?,使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施,所以不需搭配昂?的机台??,使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。
Original languageEnglish
Patent numberZL201110103211.4
Publication statusPublished - 2011 Nov 2

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