METHOD FOR MANUFACTURING ROLLER MOLD

Yung-Chun Lee (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種滾筒模仁之製造方法,至少包括:提供主體結構,主體結構呈圓柱狀;形成光阻層完全覆蓋在主體結構之弧面上;提供模仁具有圖案結構至少包括一突出部與一凹陷部,且突出部與凹陷部上依序覆蓋有抗沾黏膜層及結構圖案層;將模仁壓合在光阻層上;滾動主體結構,以將突出部上之結構圖案層轉移至光阻層上;移除模仁;對光阻層之暴露部分進行曝光步驟以將結構圖案層之圖案轉移至光阻層.
Translated title of the contribution滾筒模仁之製造方法
Original languageEnglish
Patent numberI376568
Publication statusPublished - 1800

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