Method for manufacturing zno nano-structure

Chuan-Pu Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種氧化鋅(ZnO)奈米結構之製造方法。在此方法中,先提供一基板。接下來,可選擇性地於基板表面上成長氧化鋅緩衝層。接著,形成一氧化鋅鎂(MgZnO)成核穩定層(Nucleation Stabilization Layer)於此基板上之氧化鋅緩衝層上。隨後,成長一氧化鋅奈米柱狀結構層於氧化鋅鎂成核穩定層之一表面上。當僅形成氧化鋅緩衝層與氧化鋅鎂成核穩定層之其中一者時,後續所形成之氧化鋅奈米結構層係一氧化鋅奈米牆狀結構層。
Translated title of the contribution氧化鋅奈米結構之製造方法
Original languageEnglish
Patent numberI269779
Publication statusPublished - 1800

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