Method for searching and analyzing process parameters and computer program product thereof

Fan-Tien Cheng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品。首先,獲取製程機台分別處理複數個工件時所產生之複數組製程資料,其中每一組製程資料包含有複數個製程參數。然後,獲取被量測機台所量測出之工件之量測資料,其中量測資料以一對一的方式分別對應至製程資料,每一個工件具有至少一個量測點,每一組量測資料包含此至少一個量測點之至少一量測項目的至少一個實際量測值。接著,進行製程參數篩選步驟,以從製程參數中篩選出複數個關鍵參數。然後,進行製程參數最佳化步驟,以調整關鍵參數的數值來使一個工件之量測點的預測量測值符合品質目標值。.
Translated title of the contribution製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品
Original languageEnglish
Patent numberI549007
Publication statusPublished - 2014 Aug 16

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