METHOD OF DIAMOND NUCLEATION

Yon-Hua Tzeng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明係有關於一種鑽石成核方法,包括:提供ㄧ混合氣體於ㄧ反應室中,其中該混合氣體包括ㄧ惰性氣體及一含碳氣體;以及於該反應室中形成ㄧ電漿,並於未外加偏壓之條件下,使該含碳氣體於一未種晶之基板上反應形成複數個核種,其中該電漿不與該基板接觸。據此,本發明可直接於非鑽石基板上成核,以利後續之鑽石成長。
Translated title of the contribution鑽石成核方法
Original languageEnglish
Patent numberI415965
Publication statusPublished - 1800

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