Abstract
本發明係有關於一種鑽石成核方法，包括下列步驟：提供一基板並以一化學試劑前處理該基板之一表面，其中該化學試劑係至少一選自由一硫酸鹽、一磷酸鹽、及一過硫酸鹽所組成之群組；提供ㄧ混合氣體於ㄧ反應室中，其中該混合氣體包括一含碳氣體，及更可選擇性包括一惰性氣體、一氫氣或一二氧化碳(例如:氬氣+甲烷、氬氣+氫氣+甲烷、氫氣+甲烷、二氧化碳+甲烷皆可)；以及於該反應室中形成ㄧ電漿，並於未外加偏壓之條件下，使該含碳氣體於經前處理之該基板之該表面上反應形成複數個核種。
| Translated title of the contribution | 鑽石成核方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I429779 |
| Publication status | Published - 1800 |