Abstract
本發明係有關於一種準直性奈米碳管之製造方法，係包括下列步驟：(A)提供一基板；(B) 於該基板上沉積一催化層；(C) 利用一蝕刻氣體蝕刻該催化層，形成複數個催化顆粒於該基板上；(D) 設置一電漿干擾元件於具有該些催化顆粒之基板上；以及(E) 通入一碳源氣體，並利用微波電漿化學氣相沉積法將該碳源沉積於該些催化顆粒上，以獲得準直性奈米碳管。
| Translated title of the contribution | 準直性奈米碳管之製造方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I494268 |
| Publication status | Published - 1800 |