Method of transferring a graphene film

Yon-Hua Tzeng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

本發明係有關於一種石墨烯薄膜轉移方法,包括:(A)提供一載體,其中該載體係具有一第一表面、及一第二表面,且該載體之該第一表面上係形成有一第一石墨烯薄膜;(B)設置一圖案化保護層於該載體之該第二表面上;(C)圖案化該載體以顯露該第一石墨烯薄膜,其中該載體之圖案係對應於該圖案化保護層;(D)將設有該第一石墨烯薄膜之該圖案化載體設置於一目標基板上;以及(E)移除該圖案化載體,以使該第一石墨烯薄膜轉移到該目標基板上。
Translated title of the contribution石墨烯薄膜轉移方法
Original languageEnglish
Patent numberI439374
Publication statusPublished - 1800

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