Abstract
一種量測抽樣方法，其係運用可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值，來建構出一智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision；ISD)機制，以在確保虛擬量測的精度下，降低工件量測抽測率。這些指標值包括：信心指標(Reliance Index；RI)值、整體相似度指標(Global Similarity Index；GSI)值、製程資料品質指標(DQIX)值和量測資料品質指標(DQIy)值。
| Translated title of the contribution | 量測抽樣方法與其電腦程式產品 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I521360 |
| Publication status | Published - 1800 |