METROLOGY SAMPLING METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT THEREOF

Fan-Tien Cheng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種量測抽樣方法,其係運用可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值,來建構出一智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision;ISD)機制,以在確保虛擬量測的精度下,降低工件量測抽測率。這些指標值包括:信心指標(Reliance Index;RI)值、整體相似度指標(Global Similarity Index;GSI)值、製程資料品質指標(DQIX)值和量測資料品質指標(DQIy)值。
Original languageEnglish
Patent numberI521360
Publication statusPublished - 1800

Cite this

@misc{d8b8445697ec41e29d8a4489c577ab12,
title = "METROLOGY SAMPLING METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT THEREOF",
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author = "Fan-Tien Cheng",
year = "1800",
language = "English",
type = "Patent",
note = "I521360",

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TY - PAT

T1 - METROLOGY SAMPLING METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT THEREOF

AU - Cheng, Fan-Tien

PY - 1800

Y1 - 1800

N2 - 一種量測抽樣方法,其係運用可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值,來建構出一智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision;ISD)機制,以在確保虛擬量測的精度下,降低工件量測抽測率。這些指標值包括:信心指標(Reliance Index;RI)值、整體相似度指標(Global Similarity Index;GSI)值、製程資料品質指標(DQIX)值和量測資料品質指標(DQIy)值。

AB - 一種量測抽樣方法,其係運用可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值,來建構出一智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision;ISD)機制,以在確保虛擬量測的精度下,降低工件量測抽測率。這些指標值包括:信心指標(Reliance Index;RI)值、整體相似度指標(Global Similarity Index;GSI)值、製程資料品質指標(DQIX)值和量測資料品質指標(DQIy)值。

M3 - Patent

M1 - I521360

ER -