METROLOGY SAMPLING METHOD WITH SAMPLING RATE DECISION SCHEME AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT THEREOF

Fan-Tien Cheng (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種具取樣率決定機制的量測抽樣方法,其係運用決定性樣本(Determinative Samples;DS)集合中之所有工件之虛擬量測值的平均?對誤差百分比(Mean Absolute Percentage Error;MAPE)和最大?對誤差百分比(Max Absolute Percentage Error;MaxErr)來調整工件取樣率。此量測抽樣方法並結合可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值,來建構出一自動取樣決策(Automated Sampling Decision;ASD)機制,以在確保虛擬量測的精度下,降低工件量測抽測率。
Translated title of the contribution具取樣率決定機制的量測抽樣方法與其電腦程式產品
Original languageEnglish
Patent numberI539298
Publication statusPublished - 1800

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