MICRO-NANO IMPRINTING MOULD AND IMPRINTING PROCESS

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種微奈米壓印模具及壓印製程。此微奈米壓印模具至少包括:一多孔性主體具有相對之第一表面以及第二表面,其中多孔性主體具有複數個孔洞,且一流體可經由孔洞流通於第一表面與第二表面之間;以及一壓印圖案結構設於多孔性主體之第一表面,其中壓印圖案結構包括複數個凸面以及複數個凹穴位於凸面之間。
Translated title of the contribution微奈米壓印模具及壓印製程
Original languageEnglish
Patent numberI353961
Publication statusPublished - 1800

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