Microlenses Fabrication

Wen-Kuei Chuang (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種微透鏡結構製造方法,係包含:一前置步驟,係以電鍍方式於一玻璃基板之表面形成一銀薄膜;一光阻設置步驟,係設置至少一光阻層於該銀薄膜表面;一蝕刻步驟,係蝕刻未位於該玻璃基板及該光阻層之間的該銀薄膜;一光阻移除步驟,係移除該銀薄膜表面之光阻層;及一離子交換步驟,係建立一電場偏壓通過該銀薄膜及玻璃基板,使該銀薄膜之銀離子與該玻璃基板之鈉離子進行離子交換,以在該玻璃基板內形成一銀離子層微透鏡。
Original languageEnglish
Patent numberI470278
Publication statusPublished - 2013 Jul 16

Cite this

Chuang, W-K. (2013). Microlenses Fabrication. (Patent No. I470278).
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Chuang, W-K 2013, Microlenses Fabrication, Patent No. I470278.

Microlenses Fabrication. / Chuang, Wen-Kuei (Inventor).

Patent No.: I470278.

Research output: Patent

TY - PAT

T1 - Microlenses Fabrication

AU - Chuang, Wen-Kuei

PY - 2013/7/16

Y1 - 2013/7/16

N2 - 一種微透鏡結構製造方法,係包含:一前置步驟,係以電鍍方式於一玻璃基板之表面形成一銀薄膜;一光阻設置步驟,係設置至少一光阻層於該銀薄膜表面;一蝕刻步驟,係蝕刻未位於該玻璃基板及該光阻層之間的該銀薄膜;一光阻移除步驟,係移除該銀薄膜表面之光阻層;及一離子交換步驟,係建立一電場偏壓通過該銀薄膜及玻璃基板,使該銀薄膜之銀離子與該玻璃基板之鈉離子進行離子交換,以在該玻璃基板內形成一銀離子層微透鏡。

AB - 一種微透鏡結構製造方法,係包含:一前置步驟,係以電鍍方式於一玻璃基板之表面形成一銀薄膜;一光阻設置步驟,係設置至少一光阻層於該銀薄膜表面;一蝕刻步驟,係蝕刻未位於該玻璃基板及該光阻層之間的該銀薄膜;一光阻移除步驟,係移除該銀薄膜表面之光阻層;及一離子交換步驟,係建立一電場偏壓通過該銀薄膜及玻璃基板,使該銀薄膜之銀離子與該玻璃基板之鈉離子進行離子交換,以在該玻璃基板內形成一銀離子層微透鏡。

M3 - Patent

M1 - I470278

ER -

Chuang W-K, inventor. Microlenses Fabrication. I470278. 2013 Jul 16.