Microlenses Fabrication

Wen-Kuei Chuang (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種微透鏡結構製造方法,係包含:一前置步驟,係以電鍍方式於一玻璃基板之表面形成一銀薄膜;一光阻設置步驟,係設置至少一光阻層於該銀薄膜表面;一蝕刻步驟,係蝕刻未位於該玻璃基板及該光阻層之間的該銀薄膜;一光阻移除步驟,係移除該銀薄膜表面之光阻層;及一離子交換步驟,係建立一電場偏壓通過該銀薄膜及玻璃基板,使該銀薄膜之銀離子與該玻璃基板之鈉離子進行離子交換,以在該玻璃基板內形成一銀離子層微透鏡。
Translated title of the contribution微透鏡結構製造方法
Original languageEnglish
Patent numberI470278
Publication statusPublished - 2013 Jul 16

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